（射频等离子清洗 / 刻蚀实验室，杭州本地土建、验收通用）

等离子设备为高频射频高压设备，同时兼顾设备保护接地、射频屏蔽接地、ESD 防静电接地、防雷感应接地，

联合共用接地网开挖接地沟，深度1.5m（杭州无冻土层，满足规范最低埋深），沟宽 0.5m垂直接地极垂直打入沟底，40×4 扁钢放热焊接连成环形地网接地坑分层回填：底层膨润土 + 降阻剂，上层素土夯实

使用直径20mm*4000mm紫铜等离子接地极间距5米串联长30米铺设，铜 - 铜连接：放热熔焊